FCM-III型膜厚控制仪技术规范FCM-III型膜厚控制仪编程功能厚度显示范围0~99μ9999Å材料名称显示257种另加10种自定义厚度显示分辨率1Å密度(随材料而定,并可修改)00~99.99g..
FCM-II型膜厚控制仪技术规范厚度显示范围0~99µ9999Å密度00~99.99gm/cc厚度显示分辨率1ÅZ因子00~99.99速率显示范围0~9999.9Å/s工具因子00~99.99速率显示..
FTM-III型膜厚监控仪技术规范监测厚度范围1Å~999µ9999Å,自动换档,分辨率1Å监测速率范围1Å~9999Å.S-1 分辨率1Å监测时间范围1s~64H 分..
FTM-V型膜厚监控仪技术规范监测厚度范围1Å~99µ9999Å,自动换档,分辨率1Å监测速率范围0.1Å~9999.9Å.S-1 分辨率0.1Å监测时间范围1s~99H &nbs..
类型SQM-160 Standard ResolutionSQM-160 High ResolutionQCM 传感器输入Standard: 2; optional: 4Standard: 2; op..
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