Mop400-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

Mop400 高真空电阻热蒸发镀膜机主要用于制备金属电极、有机薄膜、扫描电镜制样等;设备结构紧凑、操控简单、维护方便。



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型号

Mop400

Mop400-S

真空室

Φ400×H450mm;

400×400×H450mm;

304不锈钢半圆真空室,内表面镜面抛光

304不锈钢方形真空室,内表面镜面抛光

真空系统

复合分子泵+合资机械泵(分子泵抽速≥400L/s)

控制系统手动按键手动按键

极限真空

优于3×10-5Pa(2×10-7Torr)

恢复真空时间

达到3×10-4Pa≤15min

蒸发源

2~4组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸

2~4组蒸发源(兼容金属与有机),可共蒸

蒸发电源

2KW,2台一带二真空蒸发电源,恒流输出

2KW,2台一带二恒流/恒功率控制,可以预设工作电流

基片台

110mm方形基片或15~25mmITO/FTO玻璃25片,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板

基片台可选择加热(室温~300℃可调可控)或水冷

速率和膜厚监控

监测厚度范围:1Å~99µ9999Å,分辨率1Å;监测速率范围:0.1Å~9999.9Å.S/s,分辨率0.1Å

电控系统

手动按钮继电器逻辑控制;完善的程序互锁,完备的防误操作设计及保护;系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

选配

冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源等

设备配电

电压:AC220V/50HZ

功率:≤3.5KW

设备尺寸

长×宽: 1150mm×800mm

北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

Mop400-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。OPV系列真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域        设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置! 

  1. 不锈钢箱体设计,钢化玻璃或聚碳酸酯前窗

  2. 指标:水、氧<1PPM

  3. 泄漏率:≤0.05vol%/h

  4. 电磁阀采用模块化设计,泄漏率降低,更换方便

  5. 带滑动托盘的大过渡舱,过渡舱门设计独特,轻巧、开启方便省力,操作简单。

  6. GP-20惰性气体的净化系统

  7. SIEMENS微控制器

  8. SIEMENS操作触摸屏幕:易于进入各功能

  9. 数据备忘录:自动记录系统数据

  10. 闭合气体循环,无油和真空

  11. 全不锈钢气体流量管道及配件

  12. BOC EDWARDS RV12真空泵,配备油雾过滤器

  13. HEPA高效率滤器

  14. 自动压力控制,工作气压可设定在范围+/-15mbar

  15. 高低可调式支架

  16. 方便移动的可调脚轮

  17. 带防反射膜的灯罩