FCM-II型膜厚控制仪


咨询电话:400-096-8156
手机热线:138-1149-5691

FCM-II型膜厚控制仪

FCM-II型膜厚控制仪技术规范
厚度显示范围0~99µ9999Å密度00~99.99gm/cc
厚度显示分辨率Z因子00~99.99
速率显示范围0~9999.9Å/s工具因子00~99.99
速率显示分辨率0.1Å/s终厚0~99µ9999Å
测量和控制更新周期0.25s加热功率0~99%
时间显示00:00:00~23:59:59,h:min:s加热时间0~99.99,min:s
功率显示0~99%保温时间0~99.99,min:s
探头选择A、B、C、D四个后功率0~99%
层数0~99层可编若干程序号和若干层次下降功率时间0~99.99,min:s
材料名称显示212种终厚百分比0~99%
FCM-II型特殊功能FCM-II型控制输入/输出镀膜速率  (设置速率)0~999.9Å/s
人工停止镀膜

晶体失效:立即停止或按时间/功率达到终厚停止

手动停止:确定镀膜工艺要求

探头输入:来源于振荡器

输出电源控制:0~+10V或-10V~0

继电器输出:源挡板

探头选择:A、B、C、D

改变速率阶跃时间0~99.99,min:s
增益1~99
逼近值0~99
最大输出功率99%