FCM-II型膜厚控制仪

FCM-II型膜厚控制仪
FCM-II型膜厚控制仪技术规范 | |||
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厚度显示范围 | 0~99µ9999Å | 密度 | 00~99.99gm/cc |
厚度显示分辨率 | 1Å | Z因子 | 00~99.99 |
速率显示范围 | 0~9999.9Å/s | 工具因子 | 00~99.99 |
速率显示分辨率 | 0.1Å/s | 终厚 | 0~99µ9999Å |
测量和控制更新周期 | 0.25s | 加热功率 | 0~99% |
时间显示 | 00:00:00~23:59:59,h:min:s | 加热时间 | 0~99.99,min:s |
功率显示 | 0~99% | 保温时间 | 0~99.99,min:s |
探头选择 | A、B、C、D四个 | 后功率 | 0~99% |
层数 | 0~99层可编若干程序号和若干层次 | 下降功率时间 | 0~99.99,min:s |
材料名称显示 | 212种 | 终厚百分比 | 0~99% |
FCM-II型特殊功能 | FCM-II型控制输入/输出 | 镀膜速率 (设置速率) | 0~999.9Å/s |
人工停止镀膜 晶体失效:立即停止或按时间/功率达到终厚停止 手动停止:确定镀膜工艺要求 | 探头输入:来源于振荡器 输出电源控制:0~+10V或-10V~0 继电器输出:源挡板 探头选择:A、B、C、D | 改变速率阶跃时间 | 0~99.99,min:s |
增益 | 1~99 | ||
逼近值 | 0~99 | ||
最大输出功率 | 99% |