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本蒸发源系干过由电机直接驱动、电子束偏转角为270°、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转E型电子束蒸发装置。
阴极电压6KV-15KV,阴极加热电源AC 3V+3V， 60A 可调束流间冷坩埚0～500mA，直冷坩埚0～1A坩埚容量为4孔间冷4×17mL，4孔直冷 4×22mL，环形直冷 85mL磁场电源X偏..
配套标准单工位手套箱净化保护系统超低含量水氧≤0.1ppm电磁阀模块化设计，泄漏率更低、更换更方便闭合气体循环、无油和真空阴极电压6KV-15KV,阴极加热电源AC 3V+3V， 60A&n..
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