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型号TSS-2描述采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均强场分布磁体外露,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命标准的HN型接头,可与DC和RF电源相..
适用于大多数研发应用磁控溅射源。间接冷却,夹紧式目标设计,集成阳极屏蔽组件,可以自调高低。适用于中低功率,研发和小规模生产应用。这些溅射阴极的尺寸范围从一到四英寸,可以使用任何材料,具有卓越的目标利用..
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