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FCM-III型膜厚控制仪技术规范FCM-III型膜厚控制仪编程功能厚度显示范围0~99μ9999Å材料名称显示257种另加10种自定义厚度显示分辨率1Å密度（随材料而定，并可修改）00~99.99g..

FCM-II型膜厚控制仪技术规范厚度显示范围0～99µ9999Å密度00～99.99gm/cc厚度显示分辨率1ÅZ因子00～99.99速率显示范围0～9999.9Å/s工具因子00～99.99速率显示..

FTM-III型膜厚监控仪技术规范监测厚度范围1Å～999µ9999Å，自动换档，分辨率1Å监测速率范围1Å～9999Å.S-1 分辨率1Å监测时间范围1s～64H 分..

FTM-V型膜厚监控仪技术规范监测厚度范围1Å～99µ9999Å，自动换档，分辨率1Å监测速率范围0.1Å～9999.9Å.S-1 分辨率0.1Å监测时间范围1s～99H &nbs..

类型SQC-310SQC-310C测量 QCM 输入2 (4 optional)4测量频率范围Adjustable: 1..

类型SQC-310SQC-310C测量 QCM 输入2 (4 optional)4测量频率范围Adjustable: 1..

类型SQM-160 Standard ResolutionSQM-160 High ResolutionQCM 传感器输入Standard: 2; optional: 4Standard: 2; op..

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