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薄膜太阳能电池制备系统系统(四室)
设备用途：该设备用于制备多组份、多层复合的致密的金属/非金属、金属氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金属氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均匀的薄膜材料，其中靶材可为金属/非金属的单组份或多组份材料（包含磁..
薄膜太阳能电池制备系统系统(四室)
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