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全自动双靶/三靶磁控溅射
全自动双靶/三靶磁控溅射
1. 溅射室极限真空度：≤6.6×10-6 Pa2. 系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S3. 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6×10-4 Pa；4. 系..
全自动双靶/三靶磁控溅射
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