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爱德华分子泵组Edwards T-Station75
技术参数抽速（N2）61L/s（ISO63/CF63）抽速（N2）42L/s(KF40)压缩比（N2）＞10-11极限真空≤5×10-8mbar进气口ISO63/CF63/KF40（可选）电源185-..
爱德华分子泵组Edwards T-Station75
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