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E-Beam蒸发源控制器
指标名称范围精度高压输出输出电压0~2000V1V发射电流0~125mA1mA功率0~250W0.1W灯丝电流0~7A10mA束流输入100pA~1mA100pA尺寸信息高度3U，19”机柜，深度40..
E-Beam蒸发源控制器
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