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真空镀膜室描述不锈钢钟罩+304不锈钢真空室底座尺寸: Φ300×H450mm；体积0.03m³极限真空≤6. 67x10-5pa （2×10-7Torr） (经烘烤除气后）恢复真空时间≤6.67X1..

真空镀膜室描述玻璃钟罩+304不锈钢真空室底座尺寸: Φ300×H450mm；体积0.03m³极限真空≤6. 67x10-5pa （2×10-7Torr） (经烘烤除气后）恢复真空时间≤6.67X10..

ATTO3是经过验证的，坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作，具有广泛的沉积仪器选配，包括：射频和直流溅射源，低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用，如石英晶体监测，高真..

真空镀膜室描述玻璃钟罩+304不锈钢真空室底座尺寸: Φ300×H450mm；体积0.03m³极限真空≤6. 67x10-5pa （2×10-7Torr） (经烘烤除气后）恢复真空时间≤6.67X10..

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