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ATTO10-E高真空电子枪镀膜系统
阴极电压6KV-15KV,阴极加热电源AC 3V+3V， 60A 可调束流间冷坩埚0～500mA，直冷坩埚0～1A坩埚容量为4孔间冷4×17mL，4孔直冷 4×22mL，环形直冷 85mL磁场电源X偏..
ATTO10-E高真空电子枪镀膜系统
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