您的购物车没有添加商品！
Mop300-S 高真空磁控溅射镀膜机
Mop300-S 高真空磁控溅射镀膜机
真空镀膜室 | ||
|---|---|---|
| 描述 | 玻璃钟罩+304不锈钢真空室底座 尺寸: Φ300×H450mm； | |
| 体积 | 0.03m³ | |
极限真空 | ≤6. 67x10-5pa （2×10-7Torr） (经烘烤除气后） | |
恢复真空时间 | ≤6.67X10-4 pa(经烘烤除气后） | |
| 泄漏率 | 检漏依据GB T 32218-2015对箱体进行检测，≤1x10-10PaL/s的标准进行最终验收测试。 | |
| 真空系统 | ||
| 描述 | 采用 “分子泵+机械泵”高真空系统: | |
| 分子泵 | 抽速：1200L/S，真正的准无油真空系统，采用下抽气，避免了分子泵的抽气弱点，提高了抽速；分子泵保修5年，提供损坏直接换新服务。 * 可选择进口分子泵 | |
| 真空泵 | 规格：旋片真空泵, 配带油雾过滤器, 带气镇控制 流量：36 m³/h (21 cfm), 双基片,真空度-3 mbar 或干泵(可供选择) * 可选配干式真空泵 | |
| 工作电压 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A （可供选择） | |
| 抽速 | 从大气抽至9×10-4Pa≤30min（短时间暴露大气，冲入干燥氮气后开始抽气） | |
| 阀门 | 主阀：CC-200,高真空电气联动插板阀； 前级阀/旁路阀：GDQ-40高真空气动挡板阀； | |
| 真空测量 | “两低一高”（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空） 数显复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa；由PC显示和控制，可实现操作互锁联动。 * 可选配进口宽量程真空变送器 | |
| 真空测量 | 部分采用金属密封，部分采用氟橡胶圈密封； | |
2"永磁磁控溅射靶 | 结构 | 向心溅射，磁控靶与样品的距离90～140mm 可调，各靶有良好的水冷且DC/RF/MF兼容； 电动控制挡板组件：1套 配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)； 可折向上面的样品中心，靶与样品距离可调； |
| 电源 | PID智能温控蒸发电源，带有蒸发源测温和功率调整系统，可以进行实时测温与控温，温度控制精度±1℃。 | |
数量 | 2台 | |
| 控制系统 | ||
| 描述 | 手动按键操作 | |
| 特点 | 能够有效解决镀膜的准确、稳定和可靠性。 完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护；系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 | |
水冷系统 | ||
描述 | 冷却水路8进8出，总进水采用水压继电器控制。 总进水与出水接1P制冷循环水机，控温范围10–25 ℃。给靶、金属源、分子泵、磁流体提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。 | |
| 3"永磁控溅射靶（靶材尺寸D76.2mm） | 向心溅射，磁控靶与样品的距离90～110mm 可调，有良好的水冷且DC/RF/MF兼容 | |
| 2"强磁控溅射靶（靶材尺寸D56.8mm） | 强磁设计，向心溅射，磁控靶与样品的距离90～110mm 可调，有良好的水冷且DC/RF/MF兼容 | |
| 3"强磁控溅射靶（靶材尺寸D76.2mm） | 强磁设计，向心溅射，磁控靶与样品的距离90～110mm 可调，有良好的水冷且DC/RF/MF兼容 | |
| 射频切换器 | 设计1切换2的换挡档位功能（即1套电源可非同时供2套磁控溅射靶使用），换挡前后一般不需要调整电源除功率设定等之外的其它参数。 | |
| 其他说明 | ||
| 产品认证 | ISO9001认证、CE认证、UL认证 | |
| 质保期 | 一年质保期，终身维修 | |
| 应用注意事项 | 详情参阅说明书危险、警告、注意等条款 | |
| 包装尺寸(W×D×H) | ||
| 重量 | ||
