Mop300-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

手动系统适用于本科生教学,研究生科研训练,也可以应用于科研工作。该款设备适用于磁控溅射,也可以装配电子束蒸发,热蒸发源等,用户可根据需求来选择配备。



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Mop300-R 高真空电阻热蒸发镀膜机

技术参数:

1 本底真空:10-7 Torr;

2 单基片设计,尺寸可定制;

3 基片可旋转并加热:300℃/500℃/800℃;

4 溅射:1-3支磁控溅射靶枪,可共溅射;

5 电子束蒸发:4-6坩埚

6 热蒸发:1-3蒸发源;