真空镀膜系统

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

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基片冷却系统..

采用尖端设计在真正的超高真空条件下提供高温基板加热和调节。该设计用于诸如蒸发、MBE（分子束外延），溅射和CVD（化学气相沉积）的沉积应用。也可以进行基板退火，脱气等高温材料的修饰。特高真空设计独特的..

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