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选择合适的高真空挡板阀需要考虑多个因素,以下是一些根据使用场景进行选择的要点:


  1. 真空度要求
    • 一般高真空场景:如果使用场景的真空度要求在\(10^{5}\)\(1.3×10^{-4}Pa\),可以选择轴封为橡胶的高真空挡板阀,如 GD - J 型橡胶轴封阀门,其性价比较高,能满足一般高真空系统的需求。
    • 超高真空场景:对于真空度要求达到\(10^{5}\)\(1.3×10^{-5}Pa\)的超高真空环境,如半导体芯片制造中的光刻、离子注入等工序,应选用轴封为波纹管的 GD - J (b) 型波纹管轴封阀门或类似密封结构的产品,波纹管密封能提供更优异的密封性能,有效防止气体泄漏,满足超高真空度的要求。
  2. 介质特性:高真空挡板阀适用于纯净空气和非腐蚀性气体。如果工作介质含有颗粒灰尘、腐蚀性气体或蒸汽,可能会损坏阀门的密封面和内部部件,导致密封失效,此时需要选择其他类型的耐腐蚀、耐颗粒的真空阀门,或者在进气口安装过滤装置以保护阀门。
  3. 驱动方式
    • 手动驱动:适用于不需要频繁操作,且对开闭速度要求不高的场合,如一些实验室的小型真空设备或手动控制的真空系统,手动驱动阀门操作简单,成本较低。
    • 气动驱动:具有快速响应的特点,开闭时间短,适用于需要频繁开启和关闭阀门的自动化生产线或实验设备,如真空镀膜设备、半导体制造中的一些工艺设备等,能满足高速、频繁的真空切换需求,并且可以通过电磁换向阀实现远程控制和自动化操作。
    • 电磁驱动:开启时间通常更短,可达到≤\(0.1s\),适用于对响应速度要求极高的场合,如某些高精度的科研仪器或需要快速隔离真空环境的设备。不过,电磁驱动的阀门功率消耗相对较大,且在一些恶劣环境下可能存在电磁干扰等问题,需要根据实际情况进行评估。
  4. 通导形式
    • 角通型式(GD - J):结构紧凑,占用空间小,适用于空间受限的真空管路系统,如一些小型真空设备内部的管路连接,或者在直角转弯处的气流控制。
    • 带预抽口的三通型式(GD - S):带有预抽口,可用于需要进行预抽真空或有特殊气体流路要求的系统,例如在大型真空镀膜设备中,通过预抽口可以先对镀膜腔室进行初步抽气,提高镀膜效率和质量,或者在一些需要对不同气体进行分别控制和切换的真空系统中也较为适用。
  5. 安装位置
    • 任意位置安装:手动驱动和气动驱动的高真空挡板阀一般可在任意位置安装,这为真空系统的布局和设计提供了较大的灵活性,可根据实际空间和管路走向进行合理安装。
    • 特定位置安装:电磁驱动的阀门,如果是氟胶圈密封,应确保密封面向着真空侧;对于一些大口径(DN≥300)的阀门,为了保证阀门的正常运行和密封性能,可能需要垂直安装。
  6. 工作温度:根据使用环境的温度范围选择合适密封材料的阀门。丁腈橡胶密封的阀门适用温度一般为 - 25~+80℃,氟橡胶密封的阀门适用温度为 - 30~+150℃。如果工作环境温度超出上述范围,或者需要更高的温度耐受性,可能需要选择特殊材料或经过特殊处理的阀门。
  7. 成本和维护:不同类型和规格的高真空挡板阀价格有所差异,在满足使用要求的前提下,需要综合考虑成本因素。同时,阀门的维护保养也很重要,标准化、模块化设计的阀门通常易于更换零部件和进行维护,可降低维护成本和停机时间,如 GD 系列阀门就具有这样的优点,在选择时可以优先考虑此类产品。
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