AE射频电源(1000W) 匹配器 Cesar 1310

基本参数

• 输出功率：最大输出功率为 1000W，最小输出功率为 10W，负载阻抗为 50Ω。
• 电压：输入电压为 220V，输出电压为 2200V。
• 频率：频率范围为 13.56MHz，AC 线频率为 50/60Hz。
• 电流：输出电流为 10A，AC 线电流（每相）在满功率时为 6.5A。

功能特点

• 稳定功率输送：能提供稳定的射频功率输送，确保等离子体处理过程的一致性和稳定性，减少因功率波动引起的工艺偏差。
• 模式多样：具有多种模式选择，每种模式都有独特功能，可根据不同的应用需求进行灵活配置，如等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、物理气相沉积（PVD）等。
• 高效匹配：配合 VM1500 匹配器，可实现射频电源与负载之间的良好匹配，提高功率传输效率，减少反射功率，保护射频电源和其他设备部件。

应用领域

• 半导体制造：用于半导体芯片的刻蚀、镀膜等工艺，如制造集成电路时，可精确控制等离子体对硅片进行刻蚀，形成复杂的电路结构。
• 太阳能光伏：在太阳能电池板的生产中，用于硅片的表面处理、镀膜等工序，提高电池的光电转换效率。
• 平板显示：如液晶显示器（LCD）、有机发光二极管显示器（OLED）的制造过程中，用于玻璃基板的清洗、镀膜等工艺，改善显示效果。

维护与维修

• 定期清洁：定期清理设备表面及散热孔的灰尘，防止因灰尘堆积导致散热不良，影响设备性能和寿命。
• 检查连接：确保电源线、信号线等连接牢固，无松动、氧化等现象，定期检查线路是否老化、破损，及时更换有问题的线路。
• 专业维修：出现故障时，由专业技术人员进行维修，如深圳市佳轩工业自动化有限公司等专业维修机构，可提供 AE CESAR1310 射频电源及 VM1500 匹配器的维修服务。