咨询反馈
扫码关注

微信扫一扫即刻开始会话

返回顶部
Edwards 爱德华 XDS35i 涡旋干式真空泵,以下是关于它的介绍:

工作原理

通过电机驱动涡旋盘做相对运动,使气体在涡旋盘之间的空间内被压缩和输送,从而实现抽气和维持真空的目的。

性能特点

  • 清洁无油:采用轴承罩将真空环境与润滑剂隔离,创造无油清洁的真空环境,避免油品对真空系统和工艺过程的污染。
  • 抽速较高:在 50Hz 时,峰值抽速可达 35m³/h;在 60Hz 时,峰值抽速也为 35m³/h,能快速有效地抽取气体,缩短抽气时间。
  • 极限真空度高:极限真空(总压力)可达 1×10⁻²mbar/8×10⁻³Torr,可满足对真空度要求较高的应用场合。
  • 可处理蒸汽:高流量气镇特性使其能够以高到 240g/hr 的速度抽取包括水蒸气在内的蒸汽,通过可调气囊实现对蒸汽的处理,扩大了应用范围。
  • 维护简便:简单的单端双涡旋设计,使维护工作可在几分钟内完成,降低了运行成本,延长了正常运行时间。

应用领域

  • 分析仪器:如电子扫描显微镜 - SEM 等,为分析过程提供稳定的真空环境。
  • 半导体制造:用于半导体工艺中的薄膜沉积、蚀刻等过程,确保工艺的精确性和稳定性。
  • 科研领域:射束线和高能物理实验、低温学研究、脱气 / 硫化等实验需要高真空环境,XDS35i 泵可满足需求。
  • 工业生产:覆层、蒸馏 / 萃取 / 过滤、冷冻干燥、熔炉、凝胶体干燥等工业过程中,用于抽取气体、维持真空状态。

技术参数

  • 电机功率:0.52kW。
  • 重量:48kg/105lb。
  • 进气口法兰:NW40。
  • 排气口法兰:NW25。
  • 噪音级别:57dB(A)。
  • 工作温度范围:10 至 40°C/50 至 104°F。

衍生型号

  • XDS35iNGB:针对稀有气体再循环和气体回收等应用,移除了气镇。
  • XDS35iC:改进型,更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用,采用 Chemraz 内阀以及不锈钢材料的出气口。
  • XDS35iE:增强版,具有双入口和旁通阀技术,可防止在较高操作压力和较大吞吐量时气体在涡旋装置中的过度压缩,适用于大腔体的抽气。

注意事项

  • 泵应安装在干燥、通风良好的场所,避免在潮湿、高温或有腐蚀性气体的环境中使用。
  • 连接电源时,确保电源电压与泵的额定电压相符,并按照正确的接线方式进行连接。
  • 在启动泵之前,检查泵的进气口和出气口是否连接正确,阀门是否打开,以及泵内是否有异物。
  • 定期对泵进行维护保养,包括检查泵的运行状态、清洁过滤器、更换密封件等。
Comments: 0

No comments

Leave a Reply

Your email address cannot be published. Required fields are marked*