FCM-III型膜厚控制仪
北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。
北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。
北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。
北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。
FCM-III型膜厚控制仪
FCM-III型膜厚控制仪技术规范 | FCM-III型膜厚控制仪编程功能 | ||
厚度显示范围 | 0~99μ9999Å | 材料名称显示 | 257种另加10种自定义 |
厚度显示分辨率 | 1Å | 密度(随材料而定,并可修改) | 00~99.99gm/cc |
速率显示范围 | 0~999.9Å/S | Z因子(随材料而定,并可修改) | 00~99.99 |
速率显示分辨率 | 0.1Å/S | 终厚 | 00μ0000Å~99μ9999Å |
测量和控制更新周期 | 0.33 S | 镀膜速率 | 0~999.9Å/S |
频率显示分辨率 | 0.5 Hz | 束流控制输出 | 2路(枪1,枪2) |
时间显示 | 0~999:60 分:秒 | 挡板控制输出 | 2个 |
功率显示 | 0~99.9% | 坩埚控制输出 | 11个 |
探头选择 | A或B 两个 | 每路加热功率 (两个设定点) | 0~99.9% |
膜系 | 8个 | 每路加热上升时间(两个设定点) | 0~99:60分:秒 |
层数 | 0~99层 | 每路加热保温时间(两个设定点) | 0~99:60 分:秒 |
工具因子 | 0~99.99 | 预熔功率(即第一个设定加热功率) | 0~99.9% |
增益 | 0~99.99 | 预熔时间(达到预熔功率后保持) | 0~99:60 分:秒 |
逼近值 | 0~99.9 | 最大输出功率 | 0~99.9% |
晶片选择 | 1个或2个 |