E-Beam蒸发源


  • 适用于较难蒸发的低蒸气压材料, 使其局部快速升温, 产生分子束流, 外延生长成膜, 可达到很好的效果.




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  • 高效的水冷结构,无需区分进、出水口

  • 快速填料

  • 简便更换灯丝

  • 挡板小巧,与法兰口兼容

  • 带有外界磁场屏蔽的可靠束流监控装置

  • 精确的旋转导入控制棒材位置:线性移动行程25mm, 推进指示精度0.01mm

  • 中科院物理所成熟的专利技术, 性价比高

  • 交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短



北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

E-Beam蒸发源

安装法兰DN40CF
蒸发温度≥ 3000℃
腔内尺寸直径:34mm, 长度:170mm 和210mm,可定制
最大功率250W
高压范围0~2000V
灯丝电流0~2.5A
最高烘烤温度200℃
蒸发材料性状棒状、丝状、粉末状
坩埚材质:钨、钼、钽,容量:0.12cc, 0.18cc