E-Beam蒸发源


  • 适用于较难蒸发的低蒸气压材料, 使其局部快速升温, 产生分子束流, 外延生长成膜, 可达到很好的效果.




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E-Beam蒸发源

安装法兰DN40CF
蒸发温度≥ 3000℃
腔内尺寸直径:34mm, 长度:170mm 和210mm,可定制
最大功率250W
高压范围0~2000V
灯丝电流0~2.5A
最高烘烤温度200℃
蒸发材料性状棒状、丝状、粉末状
坩埚材质:钨、钼、钽,容量:0.12cc, 0.18cc