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薄膜太阳能电池制备系统系统(四室)
北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体，以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务，同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等，代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。
北京帕托真空技术有限公司主营：真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务，提供真空设备所需的腔体（Chamber），分子泵等部件、真空系统的设计与加工；真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等；提供电气控制类产品的设计、加工和调试；研发、生产和销售高端镀膜材料；提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。
北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队，客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务，积累了丰富的经验，在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上，帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程，以不辜负客户的委托和信任。
北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新，立足于服务客户的宗旨，以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上，精益求精”的经营理念，坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。
薄膜太阳能电池制备系统系统(四室)
设备用途：
该设备用于制备多组份、多层复合的致密的金属/非金属、金属氧化物/氮化物/氮氧化合物、非金属氧化物/氮化物/氮氧化合物等厚度均匀的薄膜材料，其中靶材可为金属/非金属的单组份或多组份材料（包含磁性靶材材料），也可为金属/非金属化合物的单组份或多组份材料。样品能够在该设备系统真空室内的薄膜沉积处原位退火处理。此外，采用磁控溅射镀膜后的样品可以进行硒化、硫化处理。
可应用于材料学、物理学、化学、微电子、光电子、能源、催化、纳米技术等领域。
技术规格：
本系统由进样室、硫化/硒化室、两个溅射室（3靶位+4靶位）、溅射控制系统、加热系统、真空测量系统、泵抽系统、样品传输控制系统、气氛控制系统、水循环制冷系统、完成样品制备过程电控系统及电脑/触摸屏程序控制系统等组成；
系统配置可在真空环境条件下移动样品的机械手臂，实现样品在腔体之间的移动,样品在腔室之间传递动作完成后15分钟内相关腔室真空度恢复到样品传递之前的水平；
两溅射室可分别实现3靶位和4靶位的靶材共溅射，相互之间电源等系统无相互干扰，各靶材单独溅射不受其他靶材的影响，且不污染其它靶材；
系统具有完善的自动保护功能,其中硒化/硫化炉的抽气入口具有防蒸汽侵蚀保护措施；
各室结构材料均采用优质不锈钢材料，氩弧焊接和表面抛光处理。
