电子束蒸发550

该设备为电子束蒸发—沉积镀膜设备,具有有机材料热蒸发—沉积和金属材料热蒸发—沉积成膜功能。集成了电子束镀膜系统和热蒸发镀膜系统,用于制备各种金属薄膜、半导体薄膜、绝缘薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,可实现多层薄膜的连续沉积,镀膜厚度可实时监控。



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北京帕托真空技术有限公司是一家集研发、生产、销售、服务于一体,以真空镀膜机、分子泵生产、辅材料销售、镀膜材料、配件、设备技术服务的综合性公司。公司主要从事各种真空镀膜机的技术服务,同时也为客户提供各种镀膜用材料、配件等,代理日本进口的灯丝及其他光学用材料。

北京帕托真空技术有限公司主营:真空获得设备和真空镀膜设备的生产制造和技术服务,提供真空设备所需的腔体(Chamber),分子泵等部件、真空系统的设计与加工;真空镀膜设备用备品备件及真空泵油等;提供电气控制类产品的设计、加工和调试;研发、生产和销售高端镀膜材料;提供进口镀膜设备的维修、维护保养和技术支持等服务。

北京帕托真空技术有限公司有非常专业的技术服务团队,客服人员均曾在知名品牌镀膜设备公司从事过多年的技术服务,积累了丰富的经验,在设备故障判断和处理上能有效做到准确快速地对应。在服务管理上,帕托真空针对不同的项目均有完善规范的操作流程,以不辜负客户的委托和信任。

北京帕托真空技术有限公司非常注重技术创新,立足于服务客户的宗旨,以优质服务满足客户的需求。本公司秉承“顾客至上,精益求精”的经营理念,坚持“客户第一”的原则为广大客户提供优质的服务。

电子束蒸发550

对传统热蒸发技术难以实现的材料蒸发,可采用电子束蒸发(E-beam Evaporation)的方式来实现。不同于传统的辐射加热和电阻丝加热,高能电子束轰击可实现超过3000℃的局域高温,这使得绝大部分常用材料都可以被蒸发出来,甚至是高熔点的材料,例如,Pt,W,Mo,Ta以及一些氧化物,陶瓷材料等。矽碁提供的电子束蒸发源可承载1-6种不同的材料,实现多层膜工艺;蒸发源本身防污染设计,使得不同材料之间的交叉污染降到最低。


技术参数:

1 本底真空10-7 Torr;

2 基片台可定制,单片或多片;

3 坩埚数量:1 ~ 6;

4 坩埚防污染设计;

5 石英晶振测量膜厚;

6 样品可旋转并加热至:300℃/500℃/800℃;

7 可配备离子束辅助沉积;

8 可配备快速进样室;

9 可与手套箱集成;

10 可根据用户要求将其它镀膜技术与电子束蒸发集成,例如磁控溅射,热蒸发等。

11 全自动控制系统